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AMAT0224-49143:LINTEC氣體流量計(jì)LM-1100M-7 TEOS 0.2g/min

簡(jiǎn)要描述:LF-F/LV-F系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修AMAT0224-49143:LINTEC氣體流量計(jì)LM-1100M-7TEOS0

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  • 更新時(shí)間:2023-10-20
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詳情介紹

LF-F/LV-F 系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修

AMAT0224-49143:LINTEC氣體流量計(jì)LM-1100M-7 TEOS 0.2g/min

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

MKS MODE:1179A00452CR1BV真空計(jì)  流量計(jì)美國(guó) 日本  聯(lián)系

● 壓力測(cè)量范圍在10ˉ5Torr 到大氣壓,大于普通的皮拉尼真空計(jì)2個(gè)測(cè)量等級(jí)
● 3個(gè)用于工藝控制的中繼點(diǎn)(選擇性)

流量計(jì)銷售,全套校準(zhǔn)證書,一年質(zhì)保期。

本公司專業(yè)銷售質(zhì)量流量計(jì)近40年,具有豐富的銷售和售后服務(wù)經(jīng)驗(yàn),我們有專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì)和專業(yè)工程師對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行跟蹤服務(wù)。
具體產(chǎn)品參數(shù),價(jià)格請(qǐng)?jiān)儍r(jià),請(qǐng)聯(lián)系經(jīng)理

本公司主要經(jīng)營(yíng)的品牌有:

HORIBA

MKS

BROOKS

UNIT

AERA

MKS

MYKROLIS

MILLIPORECTI BROOKS遠(yuǎn)程顯示器模塊控制OB8 iso200接口現(xiàn)貨

SAM

STEC

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空,冷表面(低溫板)必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

尼康光刻機(jī)

提供NIKON備件(包含易耗件)

1,常用的馬達(dá)

*ulhaber minimotor的173:1,30.7:1,41:1等

stage
motor(YASKAWA motor)

bellows
motor

chiba
precision motor

主要用于wafer
loader,wafer stage各部位控制馬達(dá)

2,常用的手臂

fetch
arm

load/unload arm

3,鹵素?zé)?/strong>

鹵素?zé)舭∟IKON和USHIO

4,LSA
HE-NE激光管,激光干涉計(jì)interferometer

5,NIKON其它各類備件,如電路板等

6,NIKON電路板維修(以壞換好)等

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空,冷表面(低溫板)必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵。

客戶得益

低溫泵的優(yōu)勢(shì):

- 所有氣體都有高抽速

- 對(duì)水汽有的抽速

對(duì)于相同直徑的高真空法蘭,低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢(shì)2:

與氣體傳輸泵(例如渦輪分子泵)相比,低溫泵在真空側(cè)沒有任何機(jī)械活動(dòng)

部件、潤(rùn)滑油或脂潤(rùn)滑部件。所以:- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無烴真空

- 對(duì)外部振動(dòng)不敏感

其它優(yōu)點(diǎn):

- 與其他高真空泵相比更加緊湊(抽速大于1500 l x s-1)

- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵

- 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制

- 性價(jià)比更高,使用成本更低,尤其是需要大抽速的應(yīng)用


萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級(jí)冷頭冷卻(Gifford/McMahon原理)。

有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計(jì),請(qǐng)見以下示意圖的內(nèi)容。

一級(jí)冷頭(9)冷卻熱輻射防護(hù)屏和低溫泵的障板(6)。

根據(jù)泵的型號(hào)和工作條件不同,達(dá)到45到80K的工作溫度,水蒸汽在這里冷凝。

熱輻射防護(hù)屏和障板為銅質(zhì),它們能很好地傳遞熱量,從而優(yōu)化制冷容量。

另外,熱輻射防護(hù)屏經(jīng)過拋光,將反射損失降到盡可能小。二級(jí)冷頭(7)用于冷卻冷傘(8)。

根據(jù)工作條件,達(dá)到 10到 20 K的工作溫度。氮?dú)狻⒀鯕夂蜌鍤庠谶@里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級(jí)冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。


COOLVAC制冷機(jī)低溫泵

COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥(UHV型帶有爆破膜),安全閥由工廠設(shè)置,過壓150mbar(113托)時(shí)打開。

為了保證在安全閥動(dòng)作時(shí),安全地排出可能影響健康的氣體,安全閥另配有一個(gè) DN 40 KF 法蘭,上面可以連接一條排氣管線。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個(gè)重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵,所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi),飽和后必須泵排出。

具體操作方法是關(guān)閉壓縮機(jī)并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度,由前級(jí)真空泵將釋放的氣體排出。

非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體(例如氮?dú)猓┘訜岬蜏貐^(qū)到室溫。此情況下,由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度,所以無法排除氫氣和氧氣同時(shí)存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。

多臺(tái)低溫泵組合操作

由于萊寶真空的壓縮機(jī)COOLPAK 6000HD功能強(qiáng)大,可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)以上冷頭或低溫泵。

客戶得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地面積小


萊寶真空全自動(dòng)加熱再生低溫泵

低溫泵通過電加熱器將一級(jí)和二級(jí)冷頭加溫到室溫。此類情況下,低溫泵內(nèi)可以達(dá)到確定和受控制的溫度分布。這個(gè)受控制的加溫過程保證了氣體被連續(xù)排出,也就是按以下順序氣體一個(gè)接一個(gè)

被釋放:

- 吸附在冷傘上的氣體(例如氫氣、  氦氣、氖氣)

- 冷凝在冷傘上的氣體(例如氮?dú)狻?emsp; 氧氣、氬氣)


真空接口位于上端,冷頭在下面,例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同,可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。

3. 特殊低溫泵

萊寶真空可以根據(jù)客戶要求提供特制低溫泵,如為航天環(huán)境模擬應(yīng)用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2,詳細(xì)信息請(qǐng)和我們聯(lián)系。

典型應(yīng)用

- 蒸發(fā)器

- 濺射系統(tǒng)

- 離子注入機(jī)

- 光學(xué)鍍膜機(jī)





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