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MKS真空計壓力計722A12TCD2FA

簡要描述:722A12TCD2FAMKS真空計壓力計722A12TCD2FA深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司美國MKS真空計(VacuumGauge),c真空表,是測量真空度或氣壓的儀器

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  • 更新時間:2023-10-15
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詳情介紹

722A12TCD2FA            MKS真空計壓力計722A12TCD2FA深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

美國MKS真空計(Vacuum Gauge),c真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
按照美國MKS真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的美國MKS真空計分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的美國MKS真空計。
美國MKS流量計型號及功能原理介紹,美國MKS流量計利用力學(xué)性能的美國MKS真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型美國MKS真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型美國MKS真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

波爾登規(guī)(Bourdon)
波爾登規(guī)
波爾登規(guī)
細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
美國MKS流量計在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響,使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時。
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
也叫做熱電阻美國MKS真空計,它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。
美國MKS流量計由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,將有效提高測量的準(zhǔn)確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同,所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,由收集極收集產(chǎn)生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到氣壓大小。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測量,但與熱陰極電離規(guī)不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

美國MKS 主要產(chǎn)品:MKS流量計,MKS薄膜真空計,MKS傳感器,MKS開關(guān),MKS壓力傳感器,MKS真空硅,MKS發(fā)生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,MKS壓力控制閥。



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