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Shimadzu島津TMP-3304LM磁懸浮分子泵銷售，離子注入真空設(shè)備泵保養(yǎng)
簡要描述：Shimadzu島津TMP-3304LM磁懸浮分子泵銷售，離子注入真空設(shè)備泵保養(yǎng)
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時間：2023-10-15
- 訪 問 量：1346
詳情介紹
性能和規(guī)格
外形尺寸
應用領(lǐng)域
- 半導體和平板顯示器制造
- LED制造
- 鍍膜設(shè)備
- 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件
- 低溫壓力容器
- 閥門氣密性
- 撿漏航空部件，配件及系統(tǒng)
而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度，預計可用于下一代450 nmm半導體晶圓加工。
島津制作所半導體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們在磁懸浮TMP領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)了30 %的*。"“島津TMP在的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設(shè)計和技術(shù)支持的歷史。"
事實上，島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計算機設(shè)計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了建模技術(shù)來模擬TMP性能。"“我們所有的商用TMP系統(tǒng)均在島津內(nèi)部制造完成。通過這種方式，我們確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。"
在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。
1179A01312CR1BV-K [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 1179A01312CR1BV-K，氣體：N2，范圍：100SCCM，類型：VCR，D-SUB 15P
1479A01353CR1BM [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 1479A01353CR1BM，氣體：N2，范圍：5SLM，類型：VCR
649A12T51CAVR-S [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL 649A-14943S [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013 P8A-26808 [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR DLT2A2231A1P210 [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P
性能和規(guī)格
外形尺寸
應用領(lǐng)域
- 半導體和平板顯示器制造
- LED制造
- 鍍膜設(shè)備
- 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件
- 低溫壓力容器
- 閥門氣密性
- 撿漏航空部件，配件及系統(tǒng)
而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度，預計可用于下一代450 nmm半導體晶圓加工。
島津制作所半導體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們在磁懸浮TMP領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)了30 %的*。"“島津TMP在的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設(shè)計和技術(shù)支持的歷史。"
事實上，島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計算機設(shè)計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了建模技術(shù)來模擬TMP性能。"“我們所有的商用TMP系統(tǒng)均在島津內(nèi)部制造完成。通過這種方式，我們確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。"
在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。
1179A01312CR1BV-K [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 1179A01312CR1BV-K，氣體：N2，范圍：100SCCM，類型：VCR，D-SUB 15P
1479A01353CR1BM [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 1479A01353CR1BM，氣體：N2，范圍：5SLM，類型：VCR
649A12T51CAVR-S [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL
649A-14943S [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013
P8A-26808 [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR
DLT2A2231A1P210 [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P
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