SEC-E400J質(zhì)量流量控制器

簡要描述：概要作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設(shè)備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關(guān)注

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-10-14
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詳情介紹

概要

作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設(shè)備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關(guān)注。這些要求對氣體供給系統(tǒng)，也就是被稱為關(guān)鍵設(shè)備的質(zhì)量流量控制器來說有很緊密的聯(lián)系。而批量使用搭載了在成本表現(xiàn)方面優(yōu)勢明顯的電磁閥的質(zhì)量流量控制器，則可*符合制程要求。

特征

采用金屬避風(fēng)墊圈

可對應(yīng)腐蝕性氣體

搭載異常報警功能

警報輸出功能為其標(biāo)準(zhǔn)搭載

規(guī)格

?SEC-E400J

氣體連接部材質(zhì)	SUS-316L,Teflon
磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式	非通電時:閉標(biāo)準(zhǔn)
流量范圍	5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(全量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(全量程)

?SEC-E450J

氣體連接部材質(zhì)	SUS-316L,Teflon
磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式	非通電時:閉標(biāo)準(zhǔn)
流量范圍	20/30 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(全量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(全量程)